신헌철 교수 연구실
2007 International Nanotech Symposium & Exhibition in Korea (Nano Korea 2007)
Enhancement of CMP Pad Lifetime for Shallow Trench Isolation Process Using Profile Simulation
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
2007 International Nanotech Symposium & Exhibition in Korea (Nano Korea 2007)
발표 제목
Enhancement of CMP Pad Lifetime for Shallow Trench Isolation Process Using Profile Simulation
기관명
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참여 연도
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상세 설명
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