폴리이미드 기반 유전체 박막은 열/화학적 안정성, 기계적 유연성 및 절연 특성 때문에 유기 박막 트랜지스터(OFETs)를 포함한 다양한 박막 소자에서 널리 사용된다. 한편, 고온 어닐링(≈200 °C)이 일반적으로 그와 같은 우수한 특성을 가진 폴리이미드 박막으로 전구체를 전환하는 데 필요하므로, 플라스틱 기판에 코팅할 수 있도록 공정 온도를 낮추는 문제에 상당한 관심이 집중되고 있다. 또한 폴리이미드 기반 유전체 박막은 낮은 유전율(k)(<4)을 가진다. 따라서 폴리이미드의 k 특성을 조절하는 것은 실제 트랜지스터를 위한 절연 박막으로의 응용에서 핵심적인 과제이다. 본 논문은 광 패터닝/공정성 및 고-유전율 특성을 위한 사이드 체인으로 메타크릴로일(methacryloyl) 모이어티를 포함하는 새로운 유형의 폴리이미드 기반 게이트 유전체(PI-MA)를 보고한다. 본 연구는 광(photocure) 경화된 PI-MA 박막이 후처리 어닐링 공정이 없어도 우수한 절연 특성(누설 전류 밀도 < 10 −8 A cm⁻ 2, 4 MV cm⁻1에서)과 높은 유전율 특성(≈8)을 나타냄을 보여준다. 마지막으로, 인쇄형 박막 트랜지스터에서 PI-MA를 사용하면 저전압 구동(5 V 이내)과 집적 논리 게이트 소자(NOT, NAND 및 NOR 게이트)에서 높은 성능을 구현할 수 있다.
*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.