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연구 분야
발행물
구성원
대한전기학회
RF 스퍼터링법을 이용한 PZT (52/48)/BST(60/40) 이종층 박막의 구조적 특성
구분
국내
국가
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컨퍼런스명
대한전기학회
발표 제목
RF 스퍼터링법을 이용한 PZT (52/48)/BST(60/40) 이종층 박막의 구조적 특성
기관명
-
참여 연도
2004
상세 설명
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