습도 센서를 위해 다공성 질화규소(실리콘 나이트라이드) 구조를 제작하였다. 다공성 질화규소 구조는 금속 보조 화학 식각(metal-assisted chemical etching) 공정으로 제조하였고, 박막은 원자층 증착(atomic layer deposition) 공정으로 단차를 따라(flexible하게) 증착된 복합성(conformal) 질화규소 박막을 형성하였다. 두께 10 nm의 질화규소 박막을 적용한 최적화된 다공성 센서는 친수성 표면을 보였으며, 다른 센서들과 비교하여 우수한 습도 감응 응답을 나타냈다. 특히 1 kHz에서 습도 감응 응답이 뛰어났고, 각각 13.3초 및 12.4초의 빠른 응답과 회복 시간이 관찰되었다. 전기화학적 임피던스 분광법(electrochemical impedance spectroscopy) 결과를 바탕으로 등가회로 및 습도 감응 메커니즘을 논의하였다. 또한 알칼리 전해질에서 테펠(Tafel) 분석을 통해 질화규소의 화학적 안정성을 특성화하였다. 아울러 센서의 습도 감응 성능을 시멘트에 매립된 조건에서 시험하였다.

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