(국고-5차년도)칩렛 기반 차세대 반도체 구현 인재양성 사업단

한국연구재단

2024년 03월 - 2025년 02월

[Ezbaro][국고] 핵심연구지원센터 조성 지원 : 3D나노융합소자연구센터 핵심연구지원센터(1단계 3차년도)

한국기초과학지원연구원

2024년 03월 - 2025년 02월

반도체 전공트랙 사업(3차년도)

한국산업기술진흥원

2024년 03월 - 2025년 02월

반도체특성화대학지원사업

한국산업기술진흥원

2024년 03월 - 2025년 02월

산업미세먼지저감 및 화학안전관리 전문인력양성사업(5차년도)

한국산업기술진흥원

2024년 03월 - 2025년 02월

코발트 금속배선 건식식각용 식각가스 개발 및 코발트 박막의 건식식각 공정개발(3차년도)

한국산업기술기획평가원

2024년 - 2024년 12월

[Ezbaro] 원자층 식각법을 이용한 차세대 반도체 메모리소자용 금속배선 박막들의 극미세 나노미터 패턴의 형성 및 식각가스 개발

한국연구재단

2023년 03월 - 2024년 02월

[Ezbaro][국고] 핵심연구지원센터 조성지원과제(3D 나노융합소자연구센터)(2차년도)

한국기초과학지원연구원

2023년 03월 - 2024년 02월

반도체 전공트랙 사업(2차년도)

한국산업기술진흥원

2023년 03월 - 2024년 02월

산업미세먼지저감 및 화학안전관리 전문인력양성사업(4차년도)

한국산업기술진흥원

2023년 03월 - 2024년 02월