여기서는 마이크로스피어 보조 공초점 현미경을 이용하여 결함에 대한 고해상도, 고대비 영상을 구현하는 방법을 제시한다. 마이크로스피어는 점 결함에 대해 우수한 광학적 계면을 제공하며, 가상 확대 이미지를 통해 공간 해상도와 광학 신호 대 잡음비를 향상시킨다.

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