일반적인 페로브스카이트 태양전지(PSC)는 다음과 같은 층으로 구성된다: 투명 전극, 전자수송층(electron-transport layer, ETL), 빛을 흡수하는 페로브스카이트 층, 정공수송층(hole-transport layer, HTL), 그리고 금속 전극이다. 전기와 같은 에너지는 광 흡수와 두 전극 종류(금속 박막과 투명 도전성 박막) 사이에서 일어나는 전자–정공 생성/수송을 통해 생산된다. PSC에서 적층된 층들 가운데 투명 전극은 고성능 전력변환효율 역할을 수행한다. 투명 전극은 가시광 영역에서 높은 투과율과 낮은 저항을 가져야 한다. 따라서 본 연구에서는 기판 가열 처리 없이 마주보는 타깃 스퍼터링(facing-target sputtering)으로 유리 기판 위에 산화인듐 주석(indium tin oxide, ITO) 박막을 제조하고, 페로브스카이트 태양전지(PSC)를 위한 ITO 박막의 물성에 대한 열처리 효과를 조사하였다. 또한 스퍼터링 공정 중 다양한 산소 유량에서 제조한 ITO 박막을 이용하여 PSC를 제작하였으며, 이들의 에너지 변환 특성을 조사하였다.

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