자기장 구조를 설계한 Facing-Targets Sputtering 공정에서 플라즈마 포획과 방전 거동을 제어하고, 박막의 형성 특성을 평가하여 저온 공정 조건에서 전기·재료 특성을 최적화하는 연구

대면타깃 스퍼터링으로 ITO 박막을 형성한 뒤 산소 플로우와 열처리 조건을 제어하여 투명도와 전기적 특성을 조정하고, 이를 페로브스카이트 태양전지 투명전극으로 적용하는 연구

Ag2O/β-Ga2O3 이종접합 구조에서 트랩 보조 터널링 전달 메커니즘을 바탕으로 자가구동 태양블라인드 포토디텍터의 광전응답과 암전류 거동을 분석하는 연구