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인용수 4
·2018
Single-material Bragg reflectors and their applications in VCSELs
Hee Ju Choi, Gun Wu Ju, Young Min Song, Yong Tak Lee
IF 0.63 (2018) Journal of the Korean Physical Society
초록

우리는 비정질 실리콘(a-Si)에 대한 사면 각 증착(oblique-angle deposition)으로 제작한 단일 재료 분산 브래그 반사기(single-material distributed Bragg reflector, DBR)를 제시한다. a-Si 박막의 높은 굴절률과 낮은 굴절률은 두 개의 입사 증기 플럭스 각도(θα)인 0°와 80°에서, 각각 0°에서 67 nm, 80°에서 128 nm의 1/4 파장 두께를 산정함으로써 얻었다. 제작된 단일 재료 브래그 반사기는 단지 5쌍만으로도 95% 이상의 높은 반사율 값을 제공하였다. 제안된 DBR은 제작 비용과 공정 단계를 줄이기 위해 공진기 내부 접속(intra-cavity contacted) 수직공진 표면발광 레이저(intra-cavity contacted vertical-cavity surface-emitting lasers, VCSELs)에 적용하였다. VCSEL 상에서 제작된 5쌍 a-Si/a-Si DBR에 대해서는, 710 - 1020 nm의 넓은 파장 범위에 걸쳐 95% 이상의 높은 반사율을 유지하면서 정규화 정지 대역(normalized stop bandwidth) 31.63%가 측정되었다. Da = 7 μm로 제작된 VCSEL은 출력전력과 역치전류에서 합리적인 측정 결과를 보였다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Materials scienceFabricationOpticsOptoelectronicsLaserWavelengthAmorphous siliconSiliconVertical-cavity surface-emitting laserAmorphous solid
타입
Article
IF / 인용수
0.63 / 4
게재 연도
2018