드론 기반의 고해상도 정밀 SAR 영상 관측 기술을 개발하고, 이를 활용한 3차원 지형 정보 기반의 미세 변위 관측 기술을 개발하는 것을 최종목표로 설정하고, 최종목표 달성을 위해 아래와 같은 4가지 세부목표를 수립함. ㅇ 급경사지 안전점검 및 상황관리를 위한 드론 기반 SAR 시스템을 개발하여 지형의 3차원 고도나 미세 변위를 추정할 수 있는 관측 체계...
드론
합성개구레이다
급경사
미세변위측위
원격탐사
2
2023년 12월-2026년 12월
|372,832,000원
고주파 신호를 이용한 공정 챔버 모니터링 시스템 개발
최종 목표 : 고주파 신호를 이용한 챔버 모니터링 시스템 개발(1) 분석 알고리즘 및 모니터링 S/W 개발- FDC & 진단/예측 알고리즘 개발- 연산/통신을 담당하는 Core와 DB, GUI로 구성된 모니터링 S/W (2) 공정 챔버 시뮬레이션 모델 개발- 실환경 검증용 모사 챔버 구성- S11 신호 측정 시뮬레이션 모델 구축 (3) 고주파 광대역 센서 ...
반도체
공정
챔버
상태
센서
3
2023년 12월-2026년 12월
|475,000,000원
고주파 신호를 이용한 공정 챔버 모니터링 시스템 개발
최종 목표 : 고주파 신호를 이용한 챔버 모니터링 시스템 개발(1) 분석 알고리즘 및 모니터링 S/W 개발- FDC & 진단/예측 알고리즘 개발- 연산/통신을 담당하는 Core와 DB, GUI로 구성된 모니터링 S/W (2) 공정 챔버 시뮬레이션 모델 개발- 실환경 검증용 모사 챔버 구성- S11 신호 측정 시뮬레이션 모델 구축 (3) 고주파 광대역 센서 ...
반도체
공정
챔버
상태
센서
4
2023년 3월-2030년 12월
|365,500,000원
ISM 응용을 위한 지능형 마이크로파 에너지 시스템 핵심·원천 기술 개발
○ RF/μWave Energy 산업의 Paradigm 전환을 위한 지능형 μWave 에너지 시스템 핵심·원천 기술 개발 ① 다중 대역 지능형 마이크로파 에너지 소스 기술 개발 ② 다중 모드 지능형 마이크로파 에너지 측정 시스템 기술 개발 ③ 지능형 마이크로파 에너지 Multi-physics 해석 기술 개발 ④ AI 기반 지능형 마이크로파 에너지 진단 ...
다중 주파수 및 모드
다중 공진 모드 챔버
다중 시스템 진단
시변 전자기 해석
고속 센싱 및 제어
5
2023년 3월-2030년 12월
|365,500,000원
ISM 응용을 위한 지능형 마이크로파 에너지 시스템 핵심·원천 기술 개발
○ RF/μWave Energy 산업의 Paradigm 전환을 위한 지능형 μWave 에너지 시스템 핵심·원천 기술 개발 ① 다중 대역 지능형 마이크로파 에너지 소스 기술 개발 ② 다중 모드 지능형 마이크로파 에너지 측정 시스템 기술 개발 ③ 지능형 마이크로파 에너지 Multi-physics 해석 기술 개발 ④ AI 기반 지능형 마이크로파 에너지 진단 ...