홍상진 교수 연구실
KISM 2024
Effect of Gas Injection Velicity on TiN Films in Thermal Atomic Layer Deposition Process
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
KISM 2024
발표 제목
Effect of Gas Injection Velicity on TiN Films in Thermal Atomic Layer Deposition Process
기관명
반도체디스플레이기술학회
참여 연도
2024
상세 설명
반도체디스플레이기술학회