홍상진 교수 연구실
KISM 2024
Fault Detection and Classification for SiH4 MFC using a New Diagnostic Ratio in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
KISM 2024
발표 제목
Fault Detection and Classification for SiH4 MFC using a New Diagnostic Ratio in Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
기관명
반도체디스플레이기술학회
참여 연도
2024
상세 설명
반도체디스플레이기술학회