박민혁 교수 연구실
ICAMD 2025
Interfacial engineering of TiN electrodes by Ar plasma for improved ferroelectricity in Hf0.5Zr0.5O2 thin films
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
ICAMD 2025
발표 제목
Interfacial engineering of TiN electrodes by Ar plasma for improved ferroelectricity in Hf0.5Zr0.5O2 thin films
기관명
한국물리학회 응용물리분과
참여 연도
2025
상세 설명
한국물리학회 응용물리분과