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2024년 춘계공동학술대회
이중구조센서 트랜스포머 이용한 화학기계적 연마 공정의 재료제거율 예측 및 공정 진단 방법
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
2024년 춘계공동학술대회
발표 제목
이중구조센서 트랜스포머 이용한 화학기계적 연마 공정의 재료제거율 예측 및 공정 진단 방법
기관명
대한산업공학회
참여 연도
2024
상세 설명
대한산업공학회