안지환 교수 연구실
한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회
원자층어닐링을 이용한 높은 결정성의 Rutile TiO2 형성으로 Ru/TiO2-ZrO2-TiO2/Ru 금속-절연체-금속 캐패시터의 높은 성능 개선
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회
발표 제목
원자층어닐링을 이용한 높은 결정성의 Rutile TiO2 형성으로 Ru/TiO2-ZrO2-TiO2/Ru 금속-절연체-금속 캐패시터의 높은 성능 개선
기관명
한국정밀공학회
참여 연도
2021
상세 설명
한국정밀공학회