Synthesis of heteroleptic [Sr(ddemap)(tmhd)] 2 and its use in atomic layer deposition of low carbon SrO thin films
Y. S. Lee, Chanwoo Park, sangyeon Jeong, Daeun Lim, Jong-Hyun Kim, Hyeongjun Kim, Eun A. Kim, Seong-Yong Cho, Hyobin Yoo, Bo Keun Park, Teak-Mo Chung, Woongkyu Lee
IF 4.6 (2026) RSC Advances
초록
캡핑 층은 탄소 또는 질소 불순물이 거의 없는 매끄러운 무정질 SrO 박막을 유도하였으며, 이는 새롭게 제안된 SrO ALD 공정에 의해 성장된 SrO 박막의 고순도를 시사하는 것으로, 탄산염 상의 형성이 없음을 나타낸다.
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