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레이저 유도 금속박막 전사 및 대면적 선택적 패터닝 기반 전자소자 제조 연구

Laser-induced metal thin-film transfer and selective patterning for large-area electronics manufacturing

연구 내용

금속박막층의 응집을 나노파티클로 전환시키는 레이저 공정을 바탕으로 대면적·선택적 전사를 수행하는 전자소자 제조 연구

금속박막층을 형성한 전자소자에 접착층과 투명 기판을 결합한 뒤, 투명 기판 방향으로 레이저를 조사하여 금속박막층이 나노파티클로 분리되며 전사가 진행되도록 설계합니다. 이때 전사 호환성이 전자소자 종류에 과도하게 좌우되지 않도록 공정 조건을 구성하여 대면적 전사 및 선택적 전사를 구현하는 방향을 취합니다. 또한 박막 반도체 전사 기반의 전자피부 자가발전형 소자 개발과 연계하여 웨어러블 소자 패키징 적용성을 확장합니다.

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연구 흐름

초기에는 박막 반도체 센서 기반 자가발전형 전자피부를 목표로 박막 공정과 전사 개념을 소자 구현에 적용하는 연구를 수행했습니다. 이후 박막 전사에서 발생하는 계면 결함과 패턴 제약을 완화하기 위해 레이저 조사로 금속박막층을 나노파티클로 분해·분리시키는 전사 메커니즘을 정리하고, 이를 대면적 전사와 선택적 전사로 확장했습니다. 최신 단계에서는 투명 기판 기반 투입-정렬-전사 공정의 재현성을 높여 다양한 박막 전자소자 플랫폼으로 전개하는 방향으로 연구를 이어가고 있습니다.

활용 가능성

활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.

  • 레이저 유도 전사 공정 플랫폼
  • 대면적 웨어러블 전자소자 제조
  • 투명 기판 기반 유연 회로 제작
  • 선택적 패터닝 전사 기술
  • 박막 반도체 패키징 모듈
  • 전자피부 전사형 센서 구조
  • 자유형 형상 소자 조립
  • 고해상도 금속 나노파티클 패턴
  • 이종 재료 적층 공정
  • 전자소자 시제품 제작 공정

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구분

제목

1

금속박막층의 응집을 기반으로 한 전자소자의 전사방법

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제목

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박막 반도체 센서 기반 자가발전형 전자피부 개발