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과제
구성원
ASME's International Mechanical Engineering Congress and Exposition (IMECE)
Design and Fabrication of a High Throughput Processing Module for Plasma Isolation
구분
국외
국가
미국
컨퍼런스명
ASME's International Mechanical Engineering Congress and Exposition (IMECE)
발표 제목
Design and Fabrication of a High Throughput Processing Module for Plasma Isolation
기관명
The American Society of Mechanical Engineers
참여 연도
2016
상세 설명
The American Society of Mechanical Engineers