황성민 교수 연구실
The 40th International Technical Conference on Circuits/Systems, Computers and Communications
Effects of Sputtering Parameters on the Deposition Rate and Uniformity of Ti/TiN Thin Films
구분
국외
국가
대한민국
컨퍼런스명
The 40th International Technical Conference on Circuits/Systems, Computers and Communications
발표 제목
Effects of Sputtering Parameters on the Deposition Rate and Uniformity of Ti/TiN Thin Films
기관명
대한전자공학회, IEICE (Japan), ECTI (Thailand)
참여 연도
2025
상세 설명
대한전자공학회, IEICE (Japan), ECTI (Thailand)