오존(O 3 ) , 질소산화물(NO x ) , 그리고 반응성 질소종(RNS)은 대기압 플라즈마 응용에서 핵심적인 역할을 한다. 대기압 플라즈마를 이해하고 그 효과를 향상시키기 위해서는 이들 종을 각각 개별적으로 정량화하는 것이 중요하지만, 신뢰성 있고 비용 효율적인 진단 기법의 부재로 인해 많은 연구자들이 이를 수행하기 어렵다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 8종—O 3 , NO, NO 2 , NO 3 , N 2 O 4 , N 2 O 5 , HONO, 및 HNO 3 —을 동시에 측정하기 위한 광대역 자외선–가시 흡수 스펙트럼의 새로운 복원(deconvolution) 방법을 제안한다. 광대역 스펙트럼의 처리를 통해 유사한 단면적(cross-section) 프로파일의 복원이 가능하며, 기기 한계를 초과하는 높은 밀도를 측정할 수 있다. 새로운 보정(correction) 과정은 불완전한 단면적 데이터에도 불구하고 정확한 분석을 가능하게 하며, 이론적으로 타당한 결과를 보장하기 위해 선험적( priori) 화학적 지식을 활용한다. 두 가지 사례 연구(case study)를 통해 이 방법의 효능을 검증하였다: NO 2 및 N 2 O 4 의 평형, 그리고 표면 유전체 장벽 방전(surface dielectric barrier discharge)에서 생성되는 반응성 종들이다. 스펙트럼당 분석 시간 15–20 ms로 측정된 밀도는 다른 이론 및 실험 결과와 잘 일치하였으며, 경로 길이 15 cm의 짧은 조건에서 ppmv 수준의 검출한계가 달성되었다. 본 스펙트럼 분석 방법은 대기압 플라즈마의 다수 과학 연구 및 산업 응용에서 O 3 , NO x , 및 RNS의 실시간 모니터링을 촉진할 것이다.

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