전자 에너지 분포 함수(EEDF)는 전자 구동 물리·화학 과정의 지배를 받는 저온 플라즈마의 비평형적 성격을 나타내는 근본적인 지표이다. 본 연구에서는 저압 아르곤 플라즈마에서 일반화된 함수 형태로 기술되는 매개변수화된 EEDF를 복원하기 위한 최적화 기반 역문제(inversion) 프레임워크를 개발하였다. 이러한 EEDF는 광발광 스펙트럼으로부터 복원된다. 충돌-복사 모형을 유전 알고리즘과 연계하여, 선택된 발광선들의 세기(intensity)에 대한 적합을 통해 채택된 일반화 EEDF 식의 매개변수를 규명하였다. 수치적 시험 결과, 제안된 방법이 처방된 EEDF의 형상을 정확히 재현할 수 있음을 확인하였고, 스펙트럼 잡음에 대해 일정 수준의 강건성도 보였다. 또한 이 프레임워크는 서로 다른 두 가지 아르곤 기반 유도결합 플라즈마 시스템에서 실험적으로 추가 검증되었으며, 복원된 EEDF는 랑뮤어 프로브 측정으로부터 얻어진 것과 전반적으로 잘 일치하였다. 특히 저에너지 영역에서의 일치가 두드러졌다. 1s manifold로부터의 준준상태(metastable) 보조 단계적 여기(stepwise excitation)가 저에너지 전자에 대한 스펙트럼 민감도를 향상시키는 데에서 차지하는 역할을 분석하였다. 이러한 결과는 제안된 접근법이 저압 플라즈마에서의 비평형 전자 운동학을 정밀 진단하기 위한 실행 가능하고 물리적으로 일관된 해를 제공함을 시사하며, 그 적용 가능성과 한계가 명확히 규정된다.

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