액체 환경에서 탭핑 모드 원자힘현미경(microcantilever) 마이크로캔틸레버의 모달 분해(modal decomposition)를 실험적으로 연구하였다. 서로 다른 길이와 강성을 갖는 마이크로캔틸레버와 탄성률이 서로 다른 두 가지 시료 표면을 실험에 사용하였다. 마이크로캔틸레버의 응답 모드는 고유직교분해(proper orthogonal decomposition)를 통해 고유직교 모드(proper orthogonal modes)로 추출하였다. 매끈한 고유직교분해(smooth orthogonal decomposition)를 사용하여 공진 주파수를 직접 추정하였다. 탭핑 세트포인트(tapping setpoint)와 시험 대상 시료의 탄성률이, 고유직교 모드, 고유직교 값(proper orthogonal values), 매끈한 고유직교 모드(smooth orthogonal modes) 및 매끈한 고유직교 값(smooth orthogonal values)을 이용한 다중 모드 응답 측면에서 어떠한 영향을 미치는지 조사하였다. 시험 대상 마이크로캔틸레버의 강성에 상관없이 정상 작동 조건에서 탭핑 모드 원자힘현미경에서는 첫 번째 모드가 지배적이었다. 그러나 더 낮은 탭핑 세트포인트에서는 유연한 마이크로캔틸레버가 단단한 시료를 탭핑할 때 팁(tip) 근처에서 모달 왜곡과 잡음을 보였다. 또한 더 낮은 탭핑 세트포인트에서는 단단한 마이크로캔틸레버가 연한 시료에서 더 높은 모드 효과를 나타내었다. 따라서 탭핑 모드 원자힘현미경의 모달 분해는 액체 환경에서 시료의 특성을 추정하는 데 사용할 수 있다.

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