본 연구의 최종목표는 2차원 전도성 나노소재(MXene) 복합체를 기반으로, 고정밀 패터닝이 가능한 전극 구조를 개발하고, 이를 바탕으로 8인치 웨이퍼 수준의 대면적 유연 마이크로 슈퍼커패시터 소자화 기술을 실현하는 데 있음. 이를 위해 MXene 박막의 두께 및 구조 정밀 제어, 500 nm 이하 해상도의 포토/전자빔 리소그래피 기반 패터닝 기술 확보, ...
맥신
웨이퍼
나노 패브리케이션
나노소재
나노패터닝
3
2025년 3월-2027년 12월
|300,000,000원
웨이퍼 스케일의 나노소재 기반 유연 마이크로 에너지 저장소자 개발
본 연구의 최종목표는 2차원 전도성 나노소재(MXene) 복합체를 기반으로, 고정밀 패터닝이 가능한 전극 구조를 개발하고, 이를 바탕으로 8인치 웨이퍼 수준의 대면적 유연 마이크로 슈퍼커패시터 소자화 기술을 실현하는 데 있음. 이를 위해 MXene 박막의 두께 및 구조 정밀 제어, 500 nm 이하 해상도의 포토/전자빔 리소그래피 기반 패터닝 기술 확보, ...