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Article
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·
인용수 8
·
2024
Highly affordable electrothermal actuators based on an embedded Cu microheater with a high-resolution pattern
Duc Cuong Nguyen
,
Thi Dung Nguyen
,
Yong Shin Kim
IF 4.9 (2024)
Sensors and Actuators A Physical
키워드
Microheater
Materials science
Actuator
Polydimethylsiloxane
Curvature
Heating element
Bending
Polyimide
Etching (microfabrication)
Layer (electronics)
타입
Article
IF / 인용수
4.9 / 8
원문
https://doi.org/10.1016/j.sna.2024.115333
게재 연도
2024