유연 전자소자용 고분자 박막 절연막 및 마이크로/나노 패터닝

Polymeric thin-film dielectrics and micro/nanopatterning for flexible electronics

연구 내용

고분자 기반 고-k 절연막과 패터닝 공정을 결합하여 유연 전자소자의 전하 수송과 소자 성능을 제어하는 연구

유연 전자소자에서는 게이트 절연막의 전기적 안정성과 패터닝 정밀도가 소자 성능을 좌우합니다. 본 연구는 enhanced electron pathways를 갖는 top-gate 트랜지스터 구조에서 계면/절연 특성을 설계하여 전하 이동 경로를 개선합니다. 또한 CVD로 합성한 parylene-OH 기반 고분자 절연막을 광 조사만으로 고해상도 패턴화할 수 있도록 공정을 확립합니다. 더불어 액정 템플릿과 CVP로 전계 유도 결함 구조를 포함한 zigzag parylene 나노섬유를 제작하고, CREW 기반 전기제트 방식으로 열변색 기능성 마이크로섬유를 3D 구조로 정렬·적층합니다.

관련 프로젝트

0건

연구 흐름

초기에는 top-gate oxide TFT에서 enhanced electron pathways를 구현하여 전자 이동 특성을 높이는 방향으로 연구를 수행했습니다. 이후 2024년에는 CVD 기반 parylene-OH 고분자 박막의 intrinsic photo-patternable 특성을 활용하여 절연막을 광 기반 공정으로 정밀 패터닝하는 연구로 확장했습니다. 동시에 전계로 변조된 액정 템플릿을 이용해 CVP 기반 zigzag parylene 나노섬유를 제작하는 플랫폼을 구축했습니다. 마지막으로 CREW 전기제트 작성으로 열변색 기능을 갖는 3D 마이크로패턴을 구현하여 유연 전자·센서 응용을 고려한 구조 제작으로 연결했습니다.

활용 가능성

활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.

고해상도 유연 디스플레이 패터닝
대면적 박막 트랜지스터 공정
UV 기반 포토패터닝 고-k 절연막
전계 유도 정렬형 나노섬유 표면
액정 결함 템플릿 기반 기능성 마이크로구조
열변색 3D 온도 시각화 패턴
웨어러블 온도/열 스트레스 센서
반복 제작 가능한 기능성 멀티컬러 패턴
유연 기판용 내구성 패턴 공정
전자-광학 통합 패터닝 플랫폼