금속 나노도트 배열의 정밀한 제어는 플라즈모닉, 촉매 및 광자기적(photonic) 특성을 최적화하는 데 필수적이다. 균일한 나노도트를 제조하기 위한 방법은 일반적으로 리소그래피 또는 층층이 조립(layer-by-layer assembly)과 같은 복잡한 공정을 필요로 한다. 최근에는 금속 증착을 통한 나노도트 배열 제조(예: 스퍼터링 및 열 증발)가 단순성과 확장성 때문에 주목을 받고 있다. 그러나 증착으로 형성된 구조는 종종 불균일하며, 금속은 공기 중에서 높은 표면에너지를 갖기 때문에 크기 제한의 문제도 겪는다. 본 연구에서는 얇은 오일 층 보조 고체상(固體相) 디웨팅(solid-state dewetting)을 통해 균일한 금속 나노도트 배열을 제조하는 전략을 제안한다. 금속은 얇은 오일 층을 코팅한 유리 기판 위에 스퍼터링으로 증착한 뒤, 디웨팅을 유도하여 나노도트를 형성하는 열처리(열 어닐링)를 수행한다. 오일에 포함된 계면활성제(surfactants)는 금속의 표면에너지를 감소시켜 원치 않는 응집(coalescence)을 억제한다. 또한 생성된 나노도트의 크기와 형상 균일성이 향상되며, 증착 두께 및/또는 오일 층 두께를 조절함으로써 이를 제어할 수 있다. 오일/계면활성제를 이용한 표면 안정화에 기반한 이 단순한 전략은 증착 방법의 한계를 효과적으로 극복한다. 더 나아가 다양한 금속으로 구성된 나노도트 배열, 또는 두 가지 이상의 금속으로 구성된 나노도트 배열도 제조할 수 있어, 나노구조 공학을 위한 다양하고 맞춤형 플랫폼을 제공한다.

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