Zeta potential-tunable silica abrasives and fluorinated surfactants in chemical mechanical polishing slurries | 장건수 교수 연구실 | Department of Polymer Engineering, School of Chemical and Materials Engineering

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인용수 24

·2020

Zeta potential-tunable silica abrasives and fluorinated surfactants in chemical mechanical polishing slurries

Seung-Chul Hong, Deoksu Han, Keon‐Soo Jang

IF 6.1Wear

키워드

Chemical-mechanical planarizationMaterials scienceWaferSlurryZeta potentialPolishingAbrasion (mechanical)Colloidal silicaNanotechnologyFabrication

타입

article

IF / 인용수

6.1 / 24

원문

게재 연도

2020