[최종목표]ㅇ 대면적 글래스 기판용 고단차 TGV 금속 증착 장비 혁신제품형 기술개발 - 대면적 글래스 기판에 최적화된 스퍼터 전극, 타겟, 챔버 설계 및 실증 - TGV 종횡비 10:1 이상, 균일도 ±5%이내, Step coverage ≥ 20% 고정밀 증착 기술 확보 - Thin 글래스 양면 증착을 위한 handling module 개발 - ...

○시편 식각용 중진공용 이온건 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경의 챔버 및 진공제어시스템 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경의 정밀 스테이지 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경 통합 제어 하드웨어 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경 제어 프로그램 개발○이온빔 가속 에너지 > 6 keV○이온건 운전 압력대 >3*10?4 Torr○이온건 전류 > 100 uA...

○시편 식각용 중진공용 이온건 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경의 챔버 및 진공제어시스템 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경의 정밀 스테이지 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경 통합 제어 하드웨어 개발○이온건 탑재형 주사전자 현미경 제어 프로그램 개발○이온빔 가속 에너지 > 6 keV○이온건 운전 압력대 >3*10?4 Torr○이온건 전류 > 100 uA...

[최종목표]□ 이온빔 식각 공정용 리본형 이온빔의 에너지 및 입사각 제어기술 개발1) 전자기장을 이용한 이온빔의 에너지, 빔광학, 빔 입사각을 제어할 수 있는 다중 전극 시스템 개발2) 광학 방식을 활용한 비침투식 플라즈마의 균일도 모니터 및 제어 기초기술 개발3) 리본 이온빔의 비침투식 특성 모니터링 기술 개발[1차년도 목표]1)각 세부의 실험을 진행할 ...