본 연구에서는 분포형 4포트 전송선 회로 모델을 이용하여 표면 탄성파 공진기의 물리적 거동을 정식화한다. 표면 탄성파의 전파 손실은 주파수에 따라 변하는 회로 모델 파라미터(즉, 저항, 도전율, 감쇠)를 기반으로 모델링한다. 또한 금속 핑거에서 발생하는 손실과 벌크 기판으로의 누설로 인한 손실은 각각 직렬 저항과 주파수에 따라 변하는 병렬 도전율을 통해 모델링한다. 더불어 고주파의 원치 않는(스푸리어스) 공진의 감쇠는 주파수에 따라 변하는 감쇠 계수를 사용하여 모델링한다. 제안된 모델의 타당성은 42°YX-LiTaO3(압전 기판) 위에 제작한 시험용 필터로 검증하였다. 제안된 모델을 사용해 계산한 S-파라미터는 웨이퍼 수준에서 측정한 실험적 S-파라미터와 우수한 일치성을 보였다.

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