불규칙하고 비주기적인 격자 구조를 갖는 표면탄성파(interdigital transducers, SAW IDTs)의 물리적 특성을 조사한다. 42∘YX-LiTaO3(압전 기판)에 제작된 다양한 시험용 SAW IDT 소기에 대해, 광대역 주파수 대역에서 웨이퍼-레벨 디임베딩 기법을 사용하여 S-파라미터를 측정한다. 비주기적이거나 비대칭인 SAW IDT 장치의 물리적 거동에 대한 음향파 전파 모델 파라미터는 주파수 변동 및 격자 레이아웃 의존 파라미터의 관점에서 규정되지만 상수는 아니다. 제안된 기법을 기반으로 한 수치 계산이 실험 데이터와 우수한 일치성을 보임을 입증한다.
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