Li-도핑된 NiO 박막을 라디오 주파수(RF) 니트론 스퍼터링으로 유리 및 c축(0001) 사파이어 단결정 기판 위에 증착하였다. NiO 박막의 구조적, 전기적 및 광학적 특성에 대한 기판의 종류, 기판 온도, 분위기의 영향에 대해 조사하였다. NiO 박막의 전기 전도도는 기판의 종류, 기판 온도 및 산소 분위기에 따라 달라졌다. 유리 및 사파이어 기판 위의 박막 전기 전도도는 산소 도입에 의해 향상되었고, 기판 온도가 증가함에 따라 감소하였다. 광학적 투과율은 산소 도입 시 감소하였으며, 기판 온도가 증가함에 따라 증가하였다.

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