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구성원
Article|
인용수 9
·2015
Study on Graphene Thin Films Grown on Single Crystal Sapphire Substrates Without a Catalytic Metal Using Pulsed Laser Deposition
Byoung Jin Na, Tae Hwa Kim, Cheon Lee, Seok‐Hyun Lee
Transactions on Electrical and Electronic Materials
초록

다수의 연구에서 화학기상증착(chemical vapor deposition, CVD)을 이용해 그래핀을 성장시켜 왔다. 그러나 CVD는 생산비 측면에서 비효율적이며, 촉매 금속을 사용하는 전사(transfer) 공정이 필요하므로 대량 생산에도 비효율적이다. 본 연구에서는 촉매 금속 없이 단결정 사파이어 기판(sapphire) 위에 펄스 레이저 증착(pulsed laser deposition, PLD)을 이용하여 그래핀 박막을 성장시켜 이러한 문제를 해결하고자 하였다. 또한 PLD를 통한 그래핀 성장에는 기판 온도와의 밀접한 관련성이 있음을 확인하였다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Materials scienceGraphenePulsed laser depositionChemical vapor depositionSapphireThin filmSubstrate (aquarium)CatalysisChemical engineeringMetal
타입
Article
IF / 인용수
- / 9
게재 연도
2015