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인용수 6
·2023
Demonstration of a roll-to-roll-configurable, all-solution-based progressive assembly of flexible transducer devices consisting of functional nanowires on micropatterned electrodes
Inhui Han, Jungkeun Song, Kwangjun Kim, Hye‐In Kim, Hyunji Son, Minwook Kim, Useung Lee, Kwang-Jin Choi, Hojae Ji, Sung Ho Lee, Moon Kyu Kwak, Jong G. Ok
IF 3.8 (2023) Scientific Reports
초록

우리는 박막 유연 트랜스듀서 소자를 구성하는 연속 제작을 시연한다. 이 소자는 상호 연결된 ZnO 나노와이어(ZNW)로 이어진 상지상(interdigitated, IDT) Ag 미세전극으로 이루어지며, 직렬로 연결된 용액 공정 기반 미세/나노 제작 공정을 통해 제작된다. 이때, 이온성 Ag 잉크 코팅을 온화한 열 환원으로 얻을 수 있는 Ag 층 위에 롤투롤(roll-to-roll) 구동 광리소그래피 공정[포토 롤 리소그래피(photo roll lithography, PRL)로 명명]을 적용한 뒤 습식 식각을 수행하면 IDT 미세전극 구조를 연속적으로 정의할 수 있다. 이어서, 순응성(conformal) ZNW는 선택적으로 Ag 전극 상에서 성장되어 고온 시드 소결이 필요하지 않은 Ag 매개 수열(hydrothermal) ZNW 성장으로 전극들을 상호 연결할 수 있다. 이러한 구성 요소 공정들은 모두 진공이 필요 없고 저온에서 용액 공정 가능하며, 유연 기판에 대한 연속 공정과도 호환되므로 궁극적으로 롤투롤 공정이 가능한 점진적(progressive) 조립 형태로 구성될 수 있다. 롤투롤 구성 가능하고 용액 기반인 나노구조 점진적 조립(ROLSPAN)으로 이루어진 공정의 매개변수 최적화를 통해, ZNW가 상호 연결된 PRL 기반의( PRL-ed ) IDT Ag 전극으로 구성된 유연 트랜스듀서를 개발할 수 있다. 이러한 유연한 구조는 UV 감지뿐 아니라 광전자 전기 변환(optielectronic transduction)도 충실히 수행한다. ROLSPAN 개념과 유연 소자에 대한 그 구체적 적용성은, 대면적 유연 기판에서 고처리량의 저온 제작이 요구되는 다양한 기능성 시스템들을 구상하는 데 영감을 줄 수 있다.

*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.

키워드
Materials scienceNanowireFabricationPhotolithographyNanotechnologyElectrodeNanolithographyRoll-to-roll processingLithographyTransducer
타입
Article
IF / 인용수
3.8 / 6
게재 연도
2023