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롤투롤 저온 공정 기반 유연 트랜스듀서 및 나노와이어 인터커넥트 연구

Roll-to-Roll Low-Temperature Fabrication of Flexible Transducers with Nanowire Interconnects

연구 내용

롤투롤 photo roll lithography와 용액 공정을 결합해 IDT 마이크로전극을 연속 제조하고, 저온에서 ZnO nanowire를 선택 성장해 유연 트랜스듀서를 구현하는 연구

본 연구는 대면적 유연 소자를 목표로 roll-to-roll 처리에 적합한 미세가공-나노성장 공정 흐름을 구성합니다. Ag 마이크로전극은 용액 공정 기반의 Ag 층을 확보한 뒤 photo roll lithography로 interdigitated(IDT) 전극 패턴을 연속 정의하고, 이후 wet-etching으로 미세 패턴을 정리합니다. ZnO nanowire는 Ag 매개 하이드로열 성장으로 전극 사이를 선택적으로 연결하며, 고온 seed sintering 없이도 인터커넥트 형성이 가능하도록 공정 변수를 최적화합니다. 그 결과 UV sensing 및 optoelectronic transduction을 수행하는 유연 트랜스듀서를 구현합니다.

관련 연구 성과

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연구 흐름

해당 연구는 연속 제조 가능성을 중심으로 출발하여, 1차적으로 roll-to-roll 기반 photo roll lithography와 용액 공정 호환 패턴 형성 전략을 확립했습니다. 이후 전극-나노와이어의 연결성을 확보하기 위해 Ag-mediated hydrothermal ZnO nanowire 성장을 전극 선택성 관점에서 최적화했습니다. 마지막으로 roll-to-roll-configurable progressive assembly 개념을 적용해 저온·진공 프리 조건에서 공정 전체를 통합하고, UV sensing을 포함한 트랜스듀서 기능을 검증하는 단계로 마무리했습니다.

활용 가능성

활용 가능성은 알앤디써클 특화 AI 에이전트가 생성한 내용으로, 실제 연구 가능 여부는 연구실과의 논의가 필요합니다.

  • 대면적 유연 UV 센서 제작
  • 롤투롤 연속 미세가공 플랫폼
  • 저온 용액 공정 기반 전극 패터닝
  • 나노와이어 선택 성장 인터커넥트
  • 광전자 변환 유닛 제작
  • 진공 프리 대면적 소자 공정
  • 전사/적층 연계 유연 전자 제조
  • 대량 생산형 프로그레시브 어셈블리
  • 옵토일렉트로닉 모듈 테스트베드
  • 유연 트랜스듀서 신뢰성 평가

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구분

제목

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Demonstration of a roll-to-roll-configurable, all-solution-based progressive assembly of flexible transducer devices consisting of functional nanowires on micropatterned electrodes