이는 군사 및 민간 응용 분야 모두에서 저비용 경량 열화상 센서에 대한 광범위한 요구를 의미한다. 마이크로캔틸리버를 이용한 미세기계적 광학 및 적외선(IR) 검출의 타당성이 입증되었다. 마이크로캔틸리버는 가시 및 적외선 복사에 대한 단일 및 다중 소자 센서 개발을 위한 단순한 구조를 제공하며, 양자 또는 열 검출기에 비해 더 작고, 더 민감하며, 비용이 낮다. 열 흡수층으로 코팅된 마이크로캔틸리버는 비메탈 효과에서 기인하는 비등가 응력으로 인해 휨(bending)을 겪는다. 본 논문은 자동화 공정 제어 응용을 목적으로 하는 비냉각(mim cooled) 마이크로가공 실리콘 열화상 장치를 보고한다.
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