High-Performance Oxide Thin-Film Transistors with Atomic Layer Deposition-Grown HfO2/BeO Hetero-Dielectric
Sein Lee, Yoonseo Jang, Wooho Ham, Jonghyun Bae, Kyunghwan Kim, Jeong-Min Park, Junseo Lee, Min‐Kyu Song, Dohwan Jung, Prakash R. Sultane, Jae‐Hoon Han, Christopher W. Bielawski, Jungwoo Oh, Jang‐Yeon Kwon
IF 9.1 (2025) Nano Letters
초록
/BeO 이종 유전체 기반 ITZO TFT는 단일화된 3차원 메모리 기술을 위한 백엔드-오브-라인 소자에서 활용될 수 있다.
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