Thermal Dehydrogenation Impact on Positive Bias Stability of Amorphous InSnZnO Thin-Film Transistors
Sein Lee, Young‐Woong Song, Jeong-Min Park, Junseo Lee, Wooho Ham, Min‐Kyu Song, Seok Daniel Namgung, Dongwook Shin, Jang‐Yeon Kwon
IF 8.2 (2024) ACS Applied Materials & Interfaces
초록
/V·s, 그리고 양의 바이어스 스트레스 안정성이 현저하게 향상되었다. 따라서 열적 탈수소화(thermal dehydrogenation)를 통해 수소의 양을 제어할 수 있음을 보고하며, 적절한 수소 농도에 도달할 때 고성능 a-ITZO TFTs를 구현할 수 있음을 입증한다.
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