엄두승 교수 연구실
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프로젝트
논문
구성원
반도체재료 전문연구회 춘계학술대회
BCl3/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템을 이용한 TiN 박막의 식각 특성
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
반도체재료 전문연구회 춘계학술대회
발표 제목
BCl3/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템을 이용한 TiN 박막의 식각 특성
기관명
고려대학교
참여 연도
-
상세 설명
고려대학교
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