엄두승 교수 연구실
연구 영역
대표 연구 분야
본 연구실의 핵심 연구 역량과 전문 분야
산소/플라즈마 결함 제어 기반 산화물 박막 자외선 포토디텍터 연구
산소 플라즈마 처리 조건을 최적화해 산화물 박막의 결함과 상(phase) 상태를 제어하고, 그에 따른 자외선 포토디텍션 성능을 평가하는 연구
논문3
특허0
프로젝트0
플라즈마 기반 미세 구조 텍스처링을 통한 광학 특성 향상 연구
SF6/O2 또는 금속 보조 플라즈마 조건으로 표면 미세구조를 형성하고, 반사율과 미세 포토디텍터 성능을 개선하는 연구
논문3
특허0
프로젝트0
산화물 박막 에칭 특성 및 박막 품질(결함·거칠기) 평가 연구
산화물 박막의 결정성·도핑·플라즈마 조건에 따른 에칭 거동과 표면 잔류/결함 변화를 규명해 소자 공정 조건을 확립하는 연구
논문4
특허0
프로젝트0