-보조된 환원 경로(in situ)에서 생성되는 이 자기 제한적 과정은 높은 종횡비를 갖는 구조에서 계면 및 벌크 영역 모두로부터 산소를 완전히 제거하면서도 탁월한 순응성(conformality)을 보장한다. 그 결과로 얻어진 Te 박막은 낮은 접촉 저항 및 비평면(비정렬) 트랜지스터 구성에서의 안정적인 스위칭과 같은 우수한 전기적 특성을 나타낸다. 박막의 연속성으로부터 표면 젖음성(surface wettability)을 분리함으로써, 이러한 화학적 변환 접근법은 초박막 p형 칼코게나이드를 고급 백엔드-오브-라인(back-end-of-line) 아키텍처에 통합하기 위한 획기적인 해결책을 제공한다.
*본 초록은 AI를 통해 원문을 번역한 내용입니다. 정확한 내용은 하기 원문에서 확인해주세요.