김지훈 교수 연구실
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[2차년도]3D IC (TSV Cu fill/ HBM 고단 적층/ 웨이퍼 본딩) 공정 웨이퍼 5㎛ 이하 결함 검사 초-고대역 C-SAM (SAT) 원천 요소 기술 개발
프로젝트 기간
2025년 1월 - 2025년 12월
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