1.35 μm에서 0.45 μm로 감소하는 이층 주기(bilayer period) 범위를 갖는 CrZrN/CrZrSiN 다층 코팅을 Si(100) 웨이퍼 및 WC-6 wt.% Co 기판 위에 폐쇄형 비대칭 마그네트론 스퍼터(closed-field unbalanced magnetron sputter)로 합성하였으며, 기계적 특성과 열적 안정성에 대한 두께 효과를 조사하였다. CrZrN/CrZrSiN 다층 코팅은 각각 28~33 GPa 및 255~265 GPa 범위에서 높은 경도와 탄성계수를 보였고, 마찰계수는 이층 주기 0.54 μm인 다층 코팅에서 최저값 0.24를 나타냈다. 이층 주기는 다층 코팅의 접착 강도에 영향을 미쳤다. 스크래치 시험에서 임계 하중(Lc2)은 이층 주기가 감소할수록 지속적으로 증가하였으며, 이층 주기 0.45 μm인 CrZrN/CrZrSiN 다층 코팅은 최고 임계 하중(Lc2) 79 N을 나타냈다. 어닐링 시험의 경우, 이층 주기는 다층 코팅의 열적 안정성에 영향을 미쳤고, 이층 주기 0.54 μm인 CrZrN/CrZrSiN 다층 코팅은 800 °C까지 약 30 GPa의 최대 경도 값을 보였다.

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