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한국정밀공학회 2021 추계학술대회
원판의 Wobble 오차 운동 보상을 위한 멀티프로브 오차분리기술
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
한국정밀공학회 2021 추계학술대회
발표 제목
원판의 Wobble 오차 운동 보상을 위한 멀티프로브 오차분리기술
기관명
(사)한국정밀공학회
참여 연도
2021
상세 설명
(사)한국정밀공학회