미세 규모 전기기계 시스템에서 정확한 위치 감지를 수행하는 데 필요한 전력은 종종 운동(구동)을 생성하는 데 필요한 전력을 크게 초과한다. 본 논문은 용량성 감지 회로를 사용하는 시스템 식별 알고리즘의 성능에 대해 샘플링 레이트 및 증폭기 잡음 밀도 선택이 갖는 함의를 탐구한다. 구체적인 성능 목표는 회전 마이크로 스테이지의 동역학을 식별하기 위해 수렴 속도와 전력 소비를 최소화하거나 제한하는 것이다. 센서 설계 변수에 대한 운용 비용을 명시적인 함수로 만들기 위해, 기존의 순환(재귀) 최소제곱 식별 알고리즘을 재배열한다. 수렴 속도와 오차는 샘플링 레이트에 강하게 의존하는 것으로 관찰되며, 에너지 의존성은 최종 식별 파라미터에서 허용될 수 있는 오차에 의해 좌우되는 것으로 나타난다.

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