본 연구에서는 전자현미경 내부에서 전자빔 조사를 통해 세 가지 서로 다른 표면에서 유도되는 기계적 거동을 조사하였다. 이를 위해 반도체 Si 표면뿐 아니라 절연체(실리콘 나이트라이드)와 도체(Au)도 함께 준비하였다. 전자현미경 내에서의 표면 개질에 의해 유도되는 기계적 거동은 드문 실정이다. 우리는 전자현미경의 전자빔에 의해 구동되되, 외부 전원 공급원 없이 작동하는 마이크로액추에이터를 제작하였다. 그러나 선행 실험들은 Si와 같은 반도체 표면의 동적 거동에만 주로 초점을 맞추었다. 따라서 본 연구는 전자빔과 관련된 상호작용에 대한 향후 연구를 위한 지침을 제공할 수 있을 것으로 기대된다.

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