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ICAMD 2025
Effects of Hydrogen Plasma Power and Time on Crystallization and Microstructure of Low-Temperature PEALD In₂O₃ Thin Films
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
ICAMD 2025
발표 제목
Effects of Hydrogen Plasma Power and Time on Crystallization and Microstructure of Low-Temperature PEALD In₂O₃ Thin Films
기관명
한국물리학회
참여 연도
2025
상세 설명
한국물리학회