백인환 교수 연구실
ALD/ALE 2025
Area selective atomic layer deposition of ruthenium via plasma surface modification
구분
국외
국가
대한민국
컨퍼런스명
ALD/ALE 2025
발표 제목
Area selective atomic layer deposition of ruthenium via plasma surface modification
기관명
AVS
참여 연도
2025
상세 설명
AVS