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연구 분야
프로젝트
발행물
구성원
반도체공학회 하계종합학술대회
Epitaxial alignment 기반 저온 rutile 상 TiO2 박막 제조와 DRAM 응용성에 대한 연구
구분
국내
국가
대한민국
컨퍼런스명
반도체공학회 하계종합학술대회
발표 제목
Epitaxial alignment 기반 저온 rutile 상 TiO2 박막 제조와 DRAM 응용성에 대한 연구
기관명
반도체공학회
참여 연도
2025
상세 설명
반도체공학회
