딥러닝과 플라즈마 시뮬레이션을 결합하여 식각 공정의 공정창을 탐색하고, 다목적 최적화로 균일도와 식각률을 동시에 만족하는 조건을 도출하는 연구

수소 플라즈마 처리에서 충돌·흡착·침투·확산 거동을 분자동역학과 밀도범함수이론으로 해석하여 High-k/Si 계면 결함과 전하 트랩을 안정화하는 공정 조건을 제시하는 연구

분자동역학 기반 계면 거동을 바탕으로 에폭시 나노복합체의 하중전달 특성과 확산접합에서의 공극 형성 메커니즘을 다중스케일로 모델링하는 연구