폐오일·폐PET 유래 피치계 첨착 활성탄을 통한 불화수소 제거 연구

폐오일과 폐PET로부터 고비표면적 활성탄을 제조하고 피치계 첨착을 통해 불화수소 제거 성능을 높이는 연구

반도체 식각 공정에서 발생하는 불화수소는 공정 배출 저감과 후처리 효율이 핵심 과제입니다. 연구실은 석유계 잔사유와 폐PET를 탄소 전구체로 활용하여, 피치계 성분을 첨착하는 방식으로 다공성 구조와 표면 반응성을 동시에 설계합니다. 이를 통해 비표면적이 높은 활성탄을 확보하고, 흡착필터 적용을 가정하여 불화수소 제거 성능을 정량적으로 평가합니다. 원료 전처리와 열처리 조건을 조절하여 기공 분포와 활성점 특성을 변화시키고, 흡착 거동 분석을 통해 공정-성능 상관을 도출합니다. 이 연구는 부산물 기반 소재 제조와 수처리/가스처리 적용 가능성을 함께 검토하는 방향으로 진행됩니다.